亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底及其制造方法

具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底及其制造方法

893   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:00:31
本發(fā)明提供一種具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底的制造方法,包括如下步驟:步驟1:在一表面平坦的鈮酸鋰襯底表面制作一掩膜圖形;步驟2:以掩膜圖形為掩膜,采用氟基等離子體對掩膜圖形及鈮酸鋰襯底進行同步刻蝕;步驟3:采用氧等離子體對鈮酸鋰襯底進行刻蝕以清除形成在鈮酸鋰襯底上的氟化鋰顆粒;步驟4:多次重復(fù)步驟2至步驟3,直至掩膜圖形全部消失;步驟5:繼續(xù)采用氟基等離子體刻蝕鈮酸鋰襯底,在鈮酸鋰襯底表面形成氟化鋰顆粒以形成具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底,圖形化結(jié)構(gòu)的表面具有納米粗糙結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供一種具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底,可降低外延材料中的缺陷密度和LED的生產(chǎn)成本,能更有效地提高LED的發(fā)光亮度。
聲明:
“具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
加工技術(shù)
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記