本發(fā)明提供一種具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底的制造方法,包括如下步驟:步驟1:在一表面平坦的鈮酸鋰襯底表面制作一掩膜圖形;步驟2:以掩膜圖形為掩膜,采用氟基等離子體對掩膜圖形及鈮酸鋰襯底進行同步刻蝕;步驟3:采用氧等離子體對鈮酸鋰襯底進行刻蝕以清除形成在鈮酸鋰襯底上的氟化鋰顆粒;步驟4:多次重復(fù)步驟2至步驟3,直至掩膜圖形全部消失;步驟5:繼續(xù)采用氟基等離子體刻蝕鈮酸鋰襯底,在鈮酸鋰襯底表面形成氟化鋰顆粒以形成具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底,圖形化結(jié)構(gòu)的表面具有納米粗糙結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供一種具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底,可降低外延材料中的缺陷密度和LED的生產(chǎn)成本,能更有效地提高LED的發(fā)光亮度。
聲明:
“具有圖形化結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰襯底及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)