本發(fā)明涉及一種
光伏材料及其制備方法;特別涉及一種硒硫化銻薄膜材料及其制備方法,屬于
新能源材料制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所述光伏材料的化學(xué)式為Sb2(SxSe1-x)3,其中x的取值范圍為0< x< 1。其制備方法為:先在基底上通過(guò)濺射的方法制備硫化銻預(yù)制層,在一定條件下進(jìn)行硒化退火,得到硒硫化銻薄膜材料。本發(fā)明首次設(shè)計(jì)并提出濺射硫化銻預(yù)制層后硒化制備硒硫化銻半導(dǎo)體薄膜材料的方法,制備出的硒硫化銻薄膜材料結(jié)晶性好、成分可控,薄膜的致密度高、體積膨脹小,避免現(xiàn)有方法制備半導(dǎo)體薄膜材料過(guò)程中存在的成分不易控制、均勻性欠佳及易產(chǎn)生不利雜相等問(wèn)題,且該方法對(duì)設(shè)備的要求不高,易于實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,在生產(chǎn)中可以大規(guī)模推廣。
聲明:
“光伏材料及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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