本實(shí)用新型涉及
鋰電池技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種磁控濺射裝置和制備電極的設(shè)備。本實(shí)用新型的多元磁控濺射裝置和制備電極的設(shè)備,可以同時(shí)進(jìn)行多種靶材的濺射鍍膜,而且可以根據(jù)設(shè)定各個(gè)靶材的濺射速度來得到不同原子比例組分的薄膜,當(dāng)需要濺射獲得不同成分的薄膜時(shí),直接替換靶材即可,使用簡(jiǎn)單、方便,生產(chǎn)效率高,符合大規(guī)模生產(chǎn)的需求。
聲明:
“多元磁控濺射裝置和制備電極的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)