本發(fā)明屬于原子層沉積技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種適用于粉末樣品的原子層沉積裝置、沉積方法,原子層沉積裝置設(shè)置有:兩級式可加熱式主腔體;兩級式可加熱式主腔體外側(cè)連接有利用電機(jī)或其它方式驅(qū)動(dòng)的機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)軸及震動(dòng)器,兩級式可加熱式主腔體的每一級腔體兩端固定有柔性可加熱式氣體管道;柔性可加熱式氣體管道外接有氣動(dòng)閥門及粉末過濾器;所述粉末過濾器連接有可加熱式氣體管道。本發(fā)明公開的沙漏型適用于實(shí)驗(yàn)研究及工業(yè)級別粉末樣品制備的原子層沉積設(shè)備,從工藝和設(shè)備角度,突破了原子層沉積技術(shù)的效率和成本限制,可實(shí)現(xiàn)單次毫克~噸級別
鋰電池、燃料電池、催化劑等粉末的均勻包覆。
聲明:
“適用于粉末樣品的原子層沉積裝置、沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)