一種大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法。本發(fā)明提供了一種“大尺寸、超薄”鉭酸鋰晶圓片的減薄方法,屬于
半導(dǎo)體材料減薄技術(shù)領(lǐng)域。包括下列步驟:提供鉭酸鋰晶圓片,并用酸性腐蝕液腐蝕晶圓;采用不同型號(hào)砂輪對(duì)晶圓片進(jìn)行分段式減薄,加工時(shí)調(diào)節(jié)砂輪轉(zhuǎn)速、工件進(jìn)給速度進(jìn)行減薄。本發(fā)明可解決大尺寸超薄晶圓片加工過(guò)程中的碎片問(wèn)題,通過(guò)采用逐級(jí)減薄方式,分階段去除前一道留下的損傷層,提高了后工序的加工效率和加工質(zhì)量。
聲明:
“大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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