亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法

大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法

1059   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:53:23
一種大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法。本發(fā)明提供了一種“大尺寸、超薄”鉭酸鋰晶圓片的減薄方法,屬于半導(dǎo)體材料減薄技術(shù)領(lǐng)域。包括下列步驟:提供鉭酸鋰晶圓片,并用酸性腐蝕液腐蝕晶圓;采用不同型號(hào)砂輪對(duì)晶圓片進(jìn)行分段式減薄,加工時(shí)調(diào)節(jié)砂輪轉(zhuǎn)速、工件進(jìn)給速度進(jìn)行減薄。本發(fā)明可解決大尺寸超薄晶圓片加工過(guò)程中的碎片問(wèn)題,通過(guò)采用逐級(jí)減薄方式,分階段去除前一道留下的損傷層,提高了后工序的加工效率和加工質(zhì)量。
聲明:
“大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
加工技術(shù)
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記