本發(fā)明公開了一種大尺寸鉭酸鋰襯底片背面粗糙度的干式加工方法,其特征在于,將經(jīng)雙面研磨后的鉭酸鋰襯底片放入旋轉(zhuǎn)加工臺的工件位中,利用噴射處理裝置將磨料粉末噴射到鉭酸鋰襯底片的加工面上以達(dá)到所需的粗糙度。本發(fā)明特別適用于≥4英寸的鉭酸鋰襯底片的背面粗糙度的加工,其優(yōu)勢在于:一是相對于傳統(tǒng)的只是通過雙面研磨加工粗糙度的工藝,具有面內(nèi)粗糙度偏差小、穩(wěn)定性高的特點(diǎn);二是可以有效的避免因?yàn)殡p面研磨而產(chǎn)生的背面不良問題;三是在前道的雙面研磨過程中,可以使用3μm~50μm的磨料細(xì)粉加工,這樣可以減少后續(xù)的減薄和拋光的去除量,從而提高加工效率和降低加工成本。
聲明:
“大尺寸鉭酸鋰襯底片背面粗糙度的干式加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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