本發(fā)明公開了一種大尺寸超薄鈮酸鋰晶片的切片方法,包括:采用硝酸和氫氟酸的混合溶液對鈮酸鋰晶棒進行化學腐蝕;對腐蝕后的晶棒進行粘棒作業(yè),并在晶棒頭尾粘上樹脂片,在晶棒正上端及兩側(cè)粘上樹脂條;將粘好后的晶棒切割成晶片,所采用的切削液為環(huán)烷油,石蠟油,聚乙二醇單油酸酯,膨潤土,磺酸鋇鹽按一定質(zhì)量分數(shù)組成的混合溶液;將晶片進行脫膠處理;將脫膠后的晶片進行化學腐蝕,最終可以得到一種大尺寸超薄鈮酸鋰晶片,表面平坦度高,晶向偏差小,線痕深度小,加工碎片率低。
聲明:
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