本實(shí)用新型涉及的一種用于制作化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)
多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備。屬新能源及
新材料技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型將多晶硅棒料安裝固定在金剛石外圓切割機(jī)中,同時(shí)對(duì)多根多晶硅棒料進(jìn)行切割制取硅芯,先將多晶硅棒料切割成多晶硅片料,再將多晶硅片料切割成條狀硅芯,切割完畢,可以同時(shí)得到多根硅芯。本實(shí)用新型提供的硅芯制備方法其生產(chǎn)效率明顯高于其它制備方法,且在整個(gè)切割過(guò)程中,所用切割冷卻液為自來(lái)水或脫鹽水,不需要專門(mén)配制切割漿料,將切割冷卻液經(jīng)簡(jiǎn)單處理后進(jìn)行循環(huán)使用,整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的廢物僅為硅渣,不會(huì)對(duì)環(huán)境產(chǎn)生不利影響。
聲明:
“用于制作化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)