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銅銦鎵硫硒薄膜材料的制備方法

738 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 20:19:41

本發(fā)明公開了本發(fā)明涉及一種銅銦鎵硫硒薄膜材料的制備方法，屬于新能源材料技術領域。本發(fā)明在太陽能電池基底上通過反應濺射的方法制備預制層銅銦鎵硫，在一定條件下進行硒化退火，得到銅銦鎵硫硒薄膜材料。該方法通過反應濺射制備銅銦鎵硫預制層，可以有效控制薄膜成分和生長情況，再通過硒化退火實現硒的并入，制得銅銦鎵硫硒薄膜。這種反應濺射預制層后硒化的方法制備出的銅銦鎵硫硒薄膜材料能夠精確控制薄膜中各元素的化學計量比、膜的厚度和成分的分布，薄膜的致密度高，體積膨脹小，可有效地解決現有方法制備銅銦鎵硫硒半導體薄膜材料過程中存在的成分不易控制、均勻性欠佳、表面缺陷較多及易產生不利雜相等問題，且該方法對設備的要求不高，易于實現產業(yè)化，在生產中可以大規(guī)模推廣。

聲明：

“銅銦鎵硫硒薄膜材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)