本實用新型提供一種CVD反應爐過濾裝置,涉及
復合材料制備的技術(shù)領(lǐng)域,包括沉積桶,所述沉積桶的出氣管連接有
過濾機構(gòu),所述過濾機構(gòu)包括殼體,所述殼體底部從下到上依次設有阻隔板和轉(zhuǎn)盤,所述殼體頂部設有通板,所述阻隔板與所述通板之間形成過濾腔,所述轉(zhuǎn)盤設于所述過濾腔內(nèi),所述轉(zhuǎn)盤上連接有轉(zhuǎn)筒,所述沉積桶的出氣管伸入至轉(zhuǎn)筒內(nèi);所述過濾腔內(nèi)還設有引流筒,所述引流筒設于所述轉(zhuǎn)筒內(nèi),所述引流筒的頂部與所述通板連接,所述通板上設有通孔,以使所述引流筒與所述過濾腔連通,所述引流筒的底部伸出所述轉(zhuǎn)盤和所述阻隔板,所述殼體底部還設有引風機,所述引風機的進氣管與所述引流筒的底部連接。
聲明:
“CVD反應爐過濾裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)