◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng),對爐溫、進出料、氣體流量等動作進行自動控制
◆關鍵部件均采用優(yōu)質配件,確保設備的高可靠性
◆工藝管路采用進口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級電拋光管),流量控制采用優(yōu)質流量計(MFC)控制
◆工作壓力閉環(huán)自動控制,提高工藝穩(wěn)定性和可靠性
◆控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆具有斷電報警、超溫報警等多種安全保護功能
◆高質量的加熱爐體,確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命
CVD主要技術指標:
一、溫度控制系統(tǒng)
高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,適合于科研單位的材料工藝研究。有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小 電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預, 可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統(tǒng)設置了超溫、 欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,關鍵電氣元件采 優(yōu)質的進口產(chǎn)品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。
1、1200系列四溫區(qū)管式爐
最高溫度:1200℃
使用溫度:≤1100℃
爐膛有效尺寸:Φ50mm
爐膛材料:1500型 氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型: K型熱電偶(4個點) 。
控溫精度:±1℃, 30段可編程控溫,PID溫度控制程序,四段控溫(250+250+250+250mm),四段溫度可設置相同,獲得超長加熱溫區(qū),也可以根據(jù)需要設定不同溫度段,以滿足不同的工藝要求。
加熱元件:優(yōu)質電阻絲
供電電源: 單相,220V,50HZ
2、1700系列雙溫區(qū)管式爐
最高溫度:1700℃
使用溫度:≤1600℃
爐膛有效尺寸:Φ50mm
爐膛材料: 1800型氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型: B型熱電偶(2個點) 。
控溫精度:±1℃, 30段可編程控溫,PID溫度控制程序,2段控溫(200+200mm),兩段溫度可設置相同,獲得較長加熱溫區(qū),也可以根據(jù)需要設定不同溫度段,以滿足不同的工藝要求。
加熱元件:優(yōu)質硅鉬棒
供電電源: 單相,220V,50HZ
二、氣路控制系統(tǒng):
氣體流量控制器采用質量流量控制器,該控制方式具有控制精度高,穩(wěn)定好,氣體適應性強的特點。可以很大程度上提高控制精度,提高設備的重復性和穩(wěn)定性。
重量:35Kg
連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。
氣體種類:3路.
標準量程(N2): N2: 200、(具體量程需最終確認)
準確度:±1.5%
線性:±0.5~1.5%
重復精度:±0.2%
響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
最大壓力:3MPa
接口:Φ6,
顯示:4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體
內外雙拋不銹鋼管:Φ6
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥:Φ6
三、收放軸系統(tǒng)及張力系統(tǒng)
收放軸位于爐體底部,走線滾輪位于爐體兩側,與法蘭出絲位置同高,方便出絲走線,也便于操作,收放軸電機均通過伺服電機控制,速度可調,控制精度高,收線電機為雙電機控制,可以控制收線軸橫向移動,可實現(xiàn)均勻收線。
系統(tǒng)安裝有兩個張力計,在熱處理過程中實現(xiàn)不同張力條件
收卷單元:伺服電機+PLC