本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用來(lái)制備納米硅粉的等離子體裝置，其特征在于，包括中空的腔體，所述腔體上端設(shè)有供硅粉料進(jìn)入的投料口和保護(hù)氣氛通入的風(fēng)簾；所述腔體內(nèi)部分為上中下三部分，上半部分為燃燒室，中間部分為接枝反應(yīng)腔，下半部分為沉淀腔；所述燃燒室內(nèi)裝有石英管，石英管外圍繞有放電線圈，石英管內(nèi)為等離子弧高溫區(qū)域；所述石英管上端連接投料口和風(fēng)簾進(jìn)氣端；等離子弧高溫區(qū)域下端設(shè)在接枝反應(yīng)腔內(nèi)，接枝反應(yīng)腔內(nèi)壁設(shè)有從外部通入活性氣體和接枝反應(yīng)氣體的進(jìn)氣管道。本實(shí)用新型可以將碾磨好的微米級(jí)硅粉經(jīng)高溫等離子體氣化、活化處理、接枝反應(yīng)等步驟得到一種核殼結(jié)構(gòu)硅納米復(fù)合材料，成品轉(zhuǎn)化率和純度較高，適合規(guī)?；a(chǎn)使用。