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化學(xué)氣相共沉積與滲透尾氣處理裝置

904   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:54:22
本實(shí)用新型屬于復(fù)合材料制造設(shè)備領(lǐng)域,涉及對(duì)化學(xué)氣相共沉積與滲透設(shè)備使用的尾氣處理裝置的改進(jìn)。本實(shí)用新型的特征在于,通過管路依次將水冷過濾器、冷凍過濾器、復(fù)合過濾器、真空泵、堿液過濾器和放空燃燒結(jié)構(gòu)串聯(lián)為四級(jí)尾氣處理裝置,本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單;操作方便;尾氣處理能力強(qiáng);可同時(shí)或單獨(dú)對(duì)化學(xué)氣相沉積與滲透工藝的尾氣煤焦油和氯化氫進(jìn)行處理。
聲明:
“化學(xué)氣相共沉積與滲透尾氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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