本發(fā)明公開了一種應(yīng)用
碳纖維包覆金屬桿制備硅片承載器制品及其制備方法,碳纖維包覆金屬桿制品是將金屬桿外粘合碳纖維,在金屬桿外形成耐腐蝕碳纖維保護層,然后在碳纖維外可以采用注射塑料或用空心塑料桿組裝的方法,制備硅片承載器。以碳纖維包覆金屬桿為拉桿增強材料,有效增加了拉桿的強度,同時由于碳纖維內(nèi)包入了金屬,增加了
復(fù)合材料的平均密度,有效防止了硅片承載器在酸、堿溶液中清洗時易翻車的問題,同時在金屬桿外增加了碳纖維防腐蝕層,與外層塑料形成了多層保護,且外層塑料與碳纖維桿結(jié)合牢固,提高了硅片承載器的使用壽命。
聲明:
“用碳纖維包覆金屬桿制備承載器制品及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)