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可精確調(diào)控納米級(jí)厚度薄膜成膜厚度和面積的制膜方法

1159   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:48:47
本發(fā)明涉及薄膜材料的制備和應(yīng)用領(lǐng)域,具體是一種可精確調(diào)控納米級(jí)厚度薄膜成膜厚度和面積的制膜方法,實(shí)現(xiàn)厚度均勻一致的納米級(jí)厚度薄膜材料的高效控制制備。該方法采用旋轉(zhuǎn)離心制膜方法的基本原理,在基體旋轉(zhuǎn)裝置的基礎(chǔ)上采用具有微小孔徑的打印噴頭或針頭,在恒定成膜液體壓力和可控運(yùn)動(dòng)軌跡的條件下,將一定量的成膜液體以微細(xì)液柱的形式噴射到以一定速率轉(zhuǎn)動(dòng)著的成膜基體表面,形成厚度、形狀及面積可控的均勻液膜,進(jìn)而通過控制固化條件獲得固體的膜材料。該方法可以實(shí)現(xiàn)厚度均勻一致的納米級(jí)厚度薄膜材料的高效精確控制制備,可廣泛應(yīng)用于光電器件、儲(chǔ)能器件、防護(hù)功能涂層、催化材料、復(fù)合材料等技術(shù)領(lǐng)域。
聲明:
“可精確調(diào)控納米級(jí)厚度薄膜成膜厚度和面積的制膜方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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