本發(fā)明公開了一種用于
石墨烯生長的工藝腔,用于生產(chǎn)石墨烯薄膜,包括腔體,所述腔體的上端和下端的內(nèi)壁上均設有一環(huán)形安裝槽,每個所述環(huán)形安裝槽中均設有耐高溫碳碳材料圓筒。本發(fā)明中,由于腔體的上端和下端管壁安裝了耐高溫碳碳材料圓筒,碳碳材料容易吸附銅及黑色炭殘留物,腔體長時間使用后銅及黑色炭殘留物聚集在耐高溫碳碳材料圓筒上,當腔體使用40天至50天后,拆掉耐高溫碳碳材料圓筒,安裝新的耐高溫碳碳
復合材料圓筒,工藝腔可以恢復生產(chǎn),工藝腔的清洗間隔周期延長,清洗過程時間縮短。
聲明:
“用于石墨烯生長的工藝腔” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)