亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 復(fù)合材料技術(shù)

> 高K柵介質(zhì)材料及其制備方法

高K柵介質(zhì)材料及其制備方法

852   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:45:23
本發(fā)明公開了一種高k柵介質(zhì)材料及其制備方法,屬于半導(dǎo)體 技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)的 應(yīng)用領(lǐng)域,這種高k柵介質(zhì)材料為氧化鉺-氧化鋁(Er2O3-Al2O3, ErAlO)復(fù)合材料,采用射頻磁控濺射制備方法,濺射靶為Er2O3和 Al2O3混合陶瓷靶,在P型Si(100)襯底上制備得到ErAlO非晶柵介質(zhì) 復(fù)合氧化物薄膜,經(jīng)檢測,本發(fā)明的ErAlO薄膜具有良好的熱穩(wěn)定 性、良好的平整度和低的漏電流密度,可取代SiO2成為一種新型高k 柵介質(zhì)材料。
聲明:
“高K柵介質(zhì)材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
復(fù)合材料
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記