本實用新型涉及粉體納米
復(fù)合材料制備裝置,具體為一種納米粒子制備及與粉體材料原位復(fù)合裝置,實現(xiàn)納米粒子的制備,以及納米粒子與粉體材料的原位復(fù)合,普遍適用于制備各種粉體納米復(fù)合材料。該裝置包括納米顆粒制備系統(tǒng)、納米顆粒/粉體材料復(fù)合系統(tǒng)及進樣/取樣系統(tǒng),納米顆粒制備系統(tǒng)設(shè)有真空室、離子源、轉(zhuǎn)靶,離子源一端伸入真空室內(nèi),轉(zhuǎn)靶設(shè)置于真空室內(nèi)、與離子源的濺射方向相對應(yīng),離子源另一端連有離子源電源和高純氬氣體鋼瓶;復(fù)合系統(tǒng)設(shè)有反彈盤,反彈盤設(shè)置于真空室內(nèi)的下方,與轉(zhuǎn)靶反射的方向相對應(yīng);進樣/取樣系統(tǒng)設(shè)有手套操作箱,真空室一側(cè)的密封艙門伸到手套操作箱中,手套操作箱上連有機械泵、循環(huán)凈化系統(tǒng)和高純惰性氣體鋼瓶。
聲明:
“納米粒子制備及與粉體材料原位復(fù)合裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)