本申請屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種薄膜壓力傳感器及其制備方法,薄膜壓力傳感器包括功能薄膜和電極組,電極組與功能薄膜接觸,功能薄膜為功能
復(fù)合材料層,功能復(fù)合材料層包括導(dǎo)電性填料和樹脂基體,導(dǎo)電性填料填充于樹脂基體中,或者功能薄膜為多層結(jié)構(gòu),多層結(jié)構(gòu)包括基底、設(shè)于基底上的高導(dǎo)電性層以及形成于高導(dǎo)電性層上的高電阻材料層,高電阻材料層包括導(dǎo)電性填料和樹脂基體,導(dǎo)電性填料填充于樹脂基體中,功能薄膜的表面設(shè)有依序排列的凸起結(jié)構(gòu),通過采用具有高硬度、高耐磨特點的基體樹脂構(gòu)成導(dǎo)電性的功能薄膜,解決了目前電阻傳感器存在的線性度和量程低、一致性低等問題。
聲明:
“薄膜壓力傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)