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FPGA數(shù)字式MF/DC濺射電源

FPGA數(shù)字式MF/DC濺射電源

3214
規(guī)格/型號(hào)：FPGA
品牌：暫無(wú)
應(yīng)用領(lǐng)域：暫無(wú)
產(chǎn)地：湖南 - 衡陽(yáng)
廠家/供應(yīng)商：湖南眾源科技有限公司
咨詢電話:：暫無(wú)（請(qǐng)說(shuō)明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”）
更新時(shí)間：2022-01-07
級(jí)別：待認(rèn)證

FPGA數(shù)字式MF/DC濺射電源說(shuō)明介紹

電源功率等級(jí)00W-200Kw  定制特種電源(電壓:0-10kv)

1.直流濺射電源  DC sputtering power supply

2.直流脈沖濺射電源  DC pulse sputtering power supply

3.中頻磁控濺射電源  Medium frequency magnetron sputtering power supply

4.單極脈沖  Single pole pulse bias power supply

5.雙極脈沖偏壓電源  Bipolar pulse bias power supply

6.高壓雙極清洗電源  high voltage bipolar cleaning power supply

7.維修  Maintenance TRUMRF& AE ADL

8.水處理電源  Water Treatment Power supply

9.可編程直流穩(wěn)壓電源  DC power suply


主回路拓?fù)洳捎肞FC+SiC組成全橋構(gòu)架 結(jié)合DSP+FPGA數(shù)字控制技術(shù)

恒功率/恒流/恒壓模式切換恒功率模式更能保證鍍膜工藝的重復(fù)性

內(nèi)置Arc10us-100us時(shí)間設(shè)置適應(yīng)不同工藝及靶材Arc顯示計(jì)數(shù)及電源工作狀態(tài)查詢

同時(shí)檢測(cè)∨-Arc&丨-Arc高速切斷輸出，同時(shí)啟動(dòng)內(nèi)置專利技術(shù)消除殘余Arc能量，避免陰極及基片產(chǎn)生Arc放電，確保高精膜層

超寬的負(fù)載匹配能力，系列電源輸出電壓100V-10000V 電流500mA-300A

一流的可靠設(shè)計(jì)，目前市場(chǎng)上已有上萬(wàn)臺(tái)1-120Kw電源在Low-E鍍膜玻璃生產(chǎn)線及PVD鍍膜設(shè)備上24H穩(wěn)定運(yùn)行

主動(dòng)操作面板，通訊接口配置模擬量、 Profibus、RS485及英國(guó) GENCOA Speedflo控制器專用端口

滅弧性能好，洗靶速度快，功率密度高，轉(zhuǎn)換效率髙，相比老式可控硅變壓器電源節(jié)能25-30%以上



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