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柔性聲表面波氣體傳感器及其制備方法

663   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:00:10
本發(fā)明涉及一種柔性聲表面波氣體傳感器,屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的柔性聲表面波氣體傳感器,通過高壓電系數(shù)的壓電陶瓷與具有室溫氣敏特性的柔性介電氣敏聚合物的復(fù)合,在機(jī)電耦合的過程中實(shí)現(xiàn)氣體探測(cè)和信號(hào)換能輸出的協(xié)同進(jìn)行。通過壓電陶瓷?介電氣敏聚合物復(fù)合材料的構(gòu)筑,充分地發(fā)揮并融合兩者的優(yōu)勢(shì)與特點(diǎn),使得氣體探測(cè)與壓電換能同時(shí)同地進(jìn)行,從而簡(jiǎn)化了器件結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了氣體探測(cè)與壓電換能的結(jié)構(gòu)與功能耦合。此外,由于氣體反應(yīng)將影響復(fù)合材料的聲阻抗,復(fù)合材料的諧振頻率也將隨之變化,從而引起叉指換能器檢測(cè)聲表面波頻率或者相位的變化,進(jìn)而可以推算出外界氣氛的濃度,實(shí)現(xiàn)了氣體的高靈敏度及穩(wěn)定探測(cè)。
聲明:
“柔性聲表面波氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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