一種多種聚合物
復(fù)合材料電熱微驅(qū)動器,屬于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括:基座支撐結(jié)構(gòu)、引線電極、功能膨脹層、應(yīng)力控制層;應(yīng)力控制層位于功能膨脹層下方,形成雙層結(jié)構(gòu);功能膨脹層是SU-8膠包裹發(fā)熱電阻絲構(gòu)成的復(fù)合結(jié)構(gòu);引線電極與發(fā)熱電阻絲相連,置于應(yīng)力控制層上;基座支撐結(jié)構(gòu)上有金屬柱陣列,能增強(qiáng)與應(yīng)力控制層的結(jié)合力。本發(fā)明的雙層結(jié)構(gòu)的伸長端即懸臂梁,是驅(qū)動的核心部件,受熱產(chǎn)生翹曲,恢復(fù)到室溫時(shí)基本保持平直;作為一個(gè)具體實(shí)例,發(fā)熱電阻絲條寬15微米,厚度3微米,功能膨脹層厚度10微米,應(yīng)力控制層厚度10微米,仿真計(jì)算得到輸入功率為20MW,10MS后懸臂梁驅(qū)動位移達(dá)到約80微米。
聲明:
“多種聚合物復(fù)合材料電熱微驅(qū)動器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)