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氮化硅復(fù)合材料的制備方法及其制備的基板

654   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:24:02
本發(fā)明公開(kāi)了一種氮化硅復(fù)合材料的制備方法,該方法包括:將P2O5、ZnO、NaF、B2O3混合制備成玻璃粉體;將所述玻璃粉體與氮化硅粉體混合制備成混合粉料;將所述混合粉料干壓成型制備預(yù)燒結(jié)體;將所述預(yù)燒結(jié)體進(jìn)行排膠和燒結(jié)制備成所述氮化硅復(fù)合材料。本發(fā)明還公開(kāi)了利用該氮化硅復(fù)合材料制備的基板。本發(fā)明選用低介電常數(shù)NaF-ZnO-P2O5-B2O3系玻璃與氮化硅復(fù)合通過(guò)低溫?zé)Y(jié)制備致密的氮化硅復(fù)合材料,并將該氮化硅復(fù)合材料制備基板,該基板的介電常數(shù)可達(dá)4左右,介電損耗可達(dá)0.0008左右。
聲明:
“氮化硅復(fù)合材料的制備方法及其制備的基板” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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