提供一種
復(fù)合材料,所述復(fù)合材料與
氧化鋁之間的線性熱膨脹系數(shù)差很小,并且具有充分高的導(dǎo)熱系數(shù)、致密性和強(qiáng)度。本發(fā)明的致密復(fù)合材料包含37-60質(zhì)量%的碳化硅顆粒,以及各自含量均低于所述碳化硅顆粒的質(zhì)量百分比的硅化鈦、鈦碳化硅和碳化鈦,所述致密復(fù)合材料具有1%以下的開口孔隙率。該致密復(fù)合材料的特性包括,例如40-570℃的平均線性熱膨脹系數(shù)為7.2-8.2ppm/K,導(dǎo)熱系數(shù)為75W/mK以上,以及四點(diǎn)彎曲強(qiáng)度為200MPa以上。
聲明:
“致密復(fù)合材料、其制造方法及半導(dǎo)體制造裝置用部件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)