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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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高頻段聲表面波器件電極的制備方法

670 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 15:04:02

本發(fā)明公開一種高頻段聲表面波器件電極的制備方法，步驟包括：S1.在壓電功能材料的襯底基片上使用負膠對待制備電極中叉指電極的輪廓進行曝光；S2.曝光顯影后金屬沉積，得到帶有叉指電極輪廓圖形的金屬涂層；S3.將輪廓圖形外的冗余金屬層進行機械剝離，得到最終的對應叉指電極的密集圖形；S4.使用正膠對待制備電極中匯流條和焊盤進行曝光、金屬沉積；S5.對沉積后金屬層使用溶脫工藝剝離冗余金屬層，得到對應匯流條和焊盤的電極圖形，完成電極的制備。本發(fā)明能夠制備得到兼具高分辨密集圖形和大尺寸圖形的納米SAW器件電極，且具有實現(xiàn)操作簡單、成本低、制備效率及良率高、SAW電極質量高及通用性好等優(yōu)點。

聲明：

“高頻段聲表面波器件電極的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)