本發(fā)明提供了一種三維集成層間光互聯(lián)結(jié)構(gòu)及形成方法,包括:第一
功能材料層、光隔離層、第二功能材料層和層間波導(dǎo);第一功能材料層與第二功能材料層之間通過(guò)光隔離層隔離;層間波導(dǎo)位于光隔離層中并連接第一功能材料層和第二功能材料層;第一功能材料層包含第一光波導(dǎo)信道、第一楔形波導(dǎo)和第一光柵耦合波導(dǎo);第二功能材料層包含第二光波導(dǎo)信道、第二楔形波導(dǎo)和第二光柵耦合波導(dǎo)。本發(fā)明通過(guò)楔形波導(dǎo)轉(zhuǎn)換至合適寬度并通過(guò)光柵耦合器將處理后的光信號(hào)傳遞至層間波導(dǎo)以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)在層間的低損耗傳輸,具有應(yīng)用范圍廣以及三維集成層間互聯(lián)的低損耗、高消光比、高集成度的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“三維集成層間光互聯(lián)結(jié)構(gòu)及形成方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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