本發(fā)明涉及用于將靶材料沉積在有機電
功能材料上的方法,所述方法包括以下步驟:提供具有有機電功能材料如電致發(fā)光發(fā)射層的襯底;通過脈沖激光沉積產(chǎn)生靶材料的蒸氣羽流;將第一層靶材料沉積在有機電功能材料上,同時保持沉積微粒的最大微粒速率低于預(yù)設(shè)值;和將第二層靶材料沉積在第一層靶材料上,同時沉積微粒的最大微粒速率高于預(yù)設(shè)值。本發(fā)明還涉及中間產(chǎn)品和涉及有機發(fā)光二極管。
聲明:
“用于將靶材料沉積在有機電功能材料上的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)