1.本發(fā)明涉及一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)及回收方法，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

2.多晶硅是制造集成電路、光伏太陽(yáng)能電池及高純硅制品的關(guān)鍵材料。隨著電子信息產(chǎn)業(yè)和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)多晶硅的需求不斷增加。目前，制備多晶硅的主流工藝為改良西門子法，通過(guò)工業(yè)硅與還原尾氣回收的四氯化硅、氯化氫以及氫氣反應(yīng)，反應(yīng)體系經(jīng)除塵后通過(guò)冷凝、回收分離得到氫氣和由反應(yīng)生成的三氯氫硅、未反應(yīng)的四氯化硅等組成的混合液，氫氣回系統(tǒng)重新參與反應(yīng)，混合液則用精餾的方法分離出高純度的三氯氫硅(四氯化硅經(jīng)過(guò)提純后回氫化回收利用)，再將汽化的三氯氫硅與氫氣按一定比例混合引入多晶硅還原爐，在置于還原爐內(nèi)的棒狀硅芯兩端加以電壓，產(chǎn)生高溫，在高溫硅芯表面，三氯氫硅被氫氣還原成元素硅，并沉積在硅芯表面，逐漸生成所需規(guī)格的多晶硅棒。進(jìn)入還原爐的三氯氫硅僅有8～12％左右轉(zhuǎn)化成多晶硅，還原尾氣中含有大量未反應(yīng)的生產(chǎn)原料氫氣(h2)、三氯氫硅(sihcl3)和反應(yīng)副產(chǎn)物四氯化硅(sicl4)、氯化氫(hcl)、二氯二氫硅(sih2cl2)等。通過(guò)尾氣回收裝置，經(jīng)“干法”分離回收，分離出的氯硅烷到精餾提純，氫氣回還原爐循環(huán)使用，氯化氫送至冷氫化裝置。

3.現(xiàn)有尾氣回收工藝采用干法回收技術(shù)，基本可以全部分離回收還原尾氣中的各組份。但是，隨著多晶硅技術(shù)的發(fā)展，尾氣回收工藝仍存在提高回收產(chǎn)品質(zhì)量與能耗增高的矛盾。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅尾氣回收工藝的示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅尾氣回收系統(tǒng)的示意圖。如圖1和圖2所示，現(xiàn)有的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)包括尾氣冷凝單元、氫氣壓縮單元、尾氣氯化氫吸收單元、尾氣氯化氫解析單元和氫氣吸附單元；其中，還原尾氣經(jīng)尾氣冷凝單元初步將氫氣尾氣(含氯化氫和少量氯硅烷)與氯硅烷(主要為三氯氫硅和四氯化硅)氣液分離；尾氣冷凝單元產(chǎn)生的不凝氫氣經(jīng)氫氣壓縮單元加壓后送至尾氣氯化氫吸收單元(尾氣氯化氫吸收塔1)，在尾氣氯化氫吸收單元中，氯硅烷會(huì)吸收氫氣尾氣中的氯化氫，尾氣氯化氫吸收單元產(chǎn)出脫除氯化氫的氫氣經(jīng)氫氣吸附單元進(jìn)一步純化后，得到純度達(dá)99.9999％的回收氫氣供還原單元及其他單元使用，氫氣吸附單元再生的副產(chǎn)品氯硅烷廢液送至精餾單元；尾氣冷凝單元產(chǎn)生的氯硅烷與尾氣氯化氫吸收單元(尾氣氯化氫吸收塔1)輸出的富含氯化氫的氯硅烷富液一起進(jìn)入尾氣氯化氫解析單元(尾氣氯化氫解析塔2)中升溫減壓脫吸氯化氫，塔頂產(chǎn)出回收氯化氫(包含氯化氫、少量氫氣以及少量二氯硅烷)送至冷氫化單元或三氯氫硅合成單元，塔底氯硅烷貧液一部分作為尾氣氯化氫單元的吸收劑送至尾氣氯化氫吸收單元，一部分作為回收產(chǎn)品送至精餾單元進(jìn)一步處理。

4.目前主要通過(guò)液相采出或氣相采出的方式將尾氣氯化氫解析塔2塔頂產(chǎn)生的回收氯化氫采出。其中，由于氯化氫的常壓沸點(diǎn)為-85℃，冷凝溫度低，在對(duì)回收氯化氫進(jìn)行液相采出時(shí)，尾氣氯化氫解析塔2塔頂需要大量的低溫冷媒才可以將回收氯化氫轉(zhuǎn)化為液相，并且尾氣氯化氫解析塔2塔釜需要消耗大量的蒸汽為尾氣氯化氫解析塔2提供能量，會(huì)產(chǎn)生較

多的能耗；并且在進(jìn)行液相采出時(shí)，還需要提高尾氣氯化氫吸收塔1與尾氣氯化氫解析塔2的操作壓力，以及對(duì)氫氣壓縮單元的壓縮比以及壓縮功率具有較高的要求；此外，氯化氫的飽和蒸汽壓為4225.6kpa(20℃)，還對(duì)設(shè)備以及管線的設(shè)計(jì)壓力要求較高，并且為了提高系統(tǒng)的安全性能，還需要在設(shè)備和閥門之間設(shè)置安全閥，投資費(fèi)用高。

5.關(guān)于回收氯化氫的氣相采出方案，通常情況經(jīng)尾氣氯化氫解析塔2采出的氣相回收氯化氫的壓力為0.4～0.9mpag，為了使尾氣氯化氫解析塔2塔頂采出的氣相回收氯化氫能夠進(jìn)入冷氫化單元中用于制備多晶硅，需要根據(jù)冷氫化單元的壓力(3.5mpag及以上)，對(duì)尾氣氯化氫解析塔2塔頂采出的氣相回收氯化氫進(jìn)行加壓，故需要增設(shè)壓縮機(jī)對(duì)尾氣氯化氫解析塔2塔頂采出的氣相回收氯化氫進(jìn)行加壓。然而，如果單獨(dú)對(duì)尾氣氯化氫解析塔2塔頂采出的氣相回收氯化氫單獨(dú)加壓，需要使用隔膜壓縮機(jī)，但是隔膜壓縮機(jī)的壓縮機(jī)輸送能力小，氣體輸送壓力脈動(dòng)大，成本較高，并且在實(shí)際應(yīng)用中，隔膜壓縮機(jī)還存在連桿易腐蝕以及操作不穩(wěn)定的缺陷，甚至?xí)霈F(xiàn)故障頻發(fā)導(dǎo)致頻繁停車的問(wèn)題。由于氫氣吸附單元產(chǎn)生的氫氣經(jīng)再生后產(chǎn)生的再生氫氣也可以再進(jìn)入冷氫化單元中參與冷氫化反應(yīng)，因此可以對(duì)再生氫氣以及尾氣氯化氫解析塔2產(chǎn)生的氣相尾氣氯化氫進(jìn)行混合加壓，由于混合加壓的壓縮氣中氫氣的含量較高，氯化氫的含量較低(15％以下)，因此可以使用氫氣壓縮機(jī)進(jìn)行加壓，常用的氫氣壓縮機(jī)為往復(fù)壓縮機(jī)，往復(fù)壓縮機(jī)的使用雖然可以克服隔膜壓縮機(jī)的弊端，但是這種方案也存在相應(yīng)的缺陷，一方面由于再生氫氣的壓力較低(小于0.05mpag)，為了將再生氫氣和氣相回收氯化氫混合，需要對(duì)氣相回收氯化氫進(jìn)行泄壓處理，使氣相回收氯化氫的壓力與再生氫氣的壓力接近，因此會(huì)浪費(fèi)氣相回收氯化氫的壓力，增加能耗；另一方面，由于氣相回收氯化氫的含量和再生氫氣的含量存在一定程度的波動(dòng)，因此也會(huì)對(duì)往復(fù)式壓縮機(jī)的正常運(yùn)行產(chǎn)生不利影響。

6.因此，有必要提供一種安全性能優(yōu)異且節(jié)約能耗的多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

7.本發(fā)明提供一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)，該回收系統(tǒng)不僅安全性能優(yōu)異，而且能夠有效節(jié)約多晶硅尾氣回收過(guò)程中的能耗以及物耗，降低尾氣回收的生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

8.本發(fā)明提供一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法，使用上述的回收系統(tǒng)進(jìn)行，因此該回收方法具有安全性能優(yōu)異、能耗低以及物耗低的優(yōu)點(diǎn)，適用于廣泛推廣應(yīng)用。

9.本發(fā)明提供一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)，其中，包括回收氯化氫吸收塔以及加壓泵；

10.所述回收氯化氫吸收塔的回收氯化氫入口與尾氣氯化氫解析塔的回收氯化氫出口連通，所述加壓泵的入口與所述回收氯化氫吸收塔的氯化氫-氯硅烷出口連通；

11.所述回收氯化氫吸收塔具有四氯化硅入口。

12.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，還包括回收氯化氫解析塔；

13.所述加壓泵的出口與所述回收氯化氫解析塔的氯化氫-氯硅烷入口連通。

14.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，還包括第一換熱器；

15.所述尾氣氯化氫解析塔的回收氯化氫出口與所述第一換熱器的熱介質(zhì)入口連通，

所述回收氯化氫吸收塔的氫氣出口與所述第一換熱器的冷介質(zhì)入口連通；

16.所述第一換熱器的熱介質(zhì)出口與所述回收氯化氫吸收塔的回收氯化氫入口連通。

17.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，精餾單元的四氯化硅出口與所述回收氯化氫吸收塔的四氯化硅入口連通。

18.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，還包括第二換熱器；

19.所述加壓泵的出口與所述第二換熱器的冷介質(zhì)入口連通，四氯化硅經(jīng)所述第二換熱器的熱介質(zhì)入口進(jìn)入所述第二換熱器；

20.所述第二換熱器的熱介質(zhì)出口與所述回收氯化氫吸收塔的四氯化硅入口連通。

21.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，還包括第一冷卻器；

22.所述第一冷卻器的熱介質(zhì)入口與所述第二換熱器的熱介質(zhì)出口連通；

23.所述第一冷卻器的熱介質(zhì)出口與所述回收氯化氫吸收塔的四氯化硅入口連通。

24.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，還包括第三換熱器；

25.所述第三換熱器的熱介質(zhì)入口與所述回收氯化氫解析塔的氯硅烷出口連通，所述第三換熱器的冷介質(zhì)入口與所述第二換熱器的冷介質(zhì)出口連通；

26.所述第三換熱器的冷介質(zhì)出口與所述回收氯化氫解析塔的氯化氫-氯硅烷入口連通。

27.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，所述回收氯化氫吸收塔的吸收溫度為-30～-40℃，壓力大于或等于0.4mpag；

28.所述回收氯化氫吸收塔中，四氯化硅吸收液與所述回收氯化氫的質(zhì)量比為(15-30)：1。

29.如上所述的回收系統(tǒng)，其中，所述回收氯化氫解析塔的塔釜溫度為98～140℃，壓力大于或等于0.7mpag。

30.本發(fā)明還提供一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法，其中，采用如上所述的回收系統(tǒng)進(jìn)行。

31.本發(fā)明的多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)在尾氣氯化氫解析塔之后增設(shè)回收氯化氫吸收塔，使尾氣氯化氫解析塔產(chǎn)生的回收氯化氫在回收氯化氫吸收塔中被四氯化硅溶液吸收，得到氯化氫-氯硅烷溶液，所形成的氯化氫-氯硅烷溶液可以使用加壓泵加壓并采出，加壓泵可以使氯化氫-氯硅烷溶液的壓力符合冷氫化單元的壓力。本發(fā)明的回收系統(tǒng)，利用回收氯化氫吸收塔將回收氯化氫中的氫氣分離出來(lái)，將回收氯化氫轉(zhuǎn)化為可以使用加壓泵加壓采出的液相。采用加壓泵液相加壓取代隔膜壓縮機(jī)氣相加壓，避免了隔膜壓縮機(jī)可靠性和穩(wěn)定性低、安全風(fēng)險(xiǎn)和投資高、維護(hù)工作量大等弊端，該回收系統(tǒng)不僅安全性能優(yōu)異，而且能夠有效節(jié)約多晶硅尾氣回收過(guò)程中的能耗以及物耗，降低尾氣回收的生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

32.本發(fā)明的多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法，使用上述的回收系統(tǒng)進(jìn)行，因此該回收方法具有安全性能優(yōu)異、能耗低以及物耗低的優(yōu)點(diǎn)，適用于廣泛推廣應(yīng)用。

附圖說(shuō)明

33.圖1為現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅尾氣回收工藝的示意圖；

34.圖2為現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅尾氣回收系統(tǒng)的示意圖；

35.圖3為本發(fā)明第一種實(shí)施方式中多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)示意圖；

36.圖4為本發(fā)明第二種實(shí)施方式中多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)示意圖。

37.附圖標(biāo)記說(shuō)明：

38.1：尾氣氯化氫吸收塔；

39.2：尾氣氯化氫解析塔；

40.3：回收氯化氫吸收塔；

41.4：加壓泵；

42.5：第一換熱器；

43.6：第二換熱器；

44.7：第一冷卻器；

45.8：第二冷卻器；

46.9：第三冷卻器；

47.10：第四冷卻器；

48.11：回收氯化氫解析塔；

49.12：第三換熱器；

50.13：第一冷凝器；

51.14：第四換熱器；

52.15：回流泵；

53.16：第二冷凝器；

54.17：第三冷凝器；

55.18：回流罐；

56.19：再沸器。

具體實(shí)施方式

57.為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诎l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

58.圖3為本發(fā)明第一種實(shí)施方式中多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)示意圖；圖4為本發(fā)明第二種實(shí)施方式中多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)示意圖。如圖3-4所示，本發(fā)明的第一方面提供一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)，包括回收氯化氫吸收塔3以及加壓泵4；

59.回收氯化氫吸收塔3的回收氯化氫入口與尾氣氯化氫解析塔2的回收氯化氫出口連通，加壓泵4的入口與回收氯化氫吸收塔3的氯化氫-氯硅烷出口連通；

60.回收氯化氫吸收塔3具有四氯化硅入口。

61.在具體的實(shí)施方式中，多晶硅尾氣依次經(jīng)尾氣冷凝單元、氫氣壓縮單元、尾氣氯化氫吸收塔1以及尾氣氯化氫解析塔2可以得到回收氯化氫，回收氯化氫主要包括氯化氫，還包括少量的氫氣以及少量的二氯硅烷(二氯二硅烷)。

62.本發(fā)明中，使尾氣氯化氫解析塔2產(chǎn)生的回收氯化氫經(jīng)尾氣氯化氫解析塔2的回收氯化氫出口輸出，經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的回收氯化氫入口進(jìn)入回收氯化氫吸收塔3中，使

四氯化硅經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口進(jìn)入回收氯化氫吸收塔3中。由于回收氯化氫中的氯化氫、氫氣以及二氯硅烷在四氯化硅中的溶解度具有差異(氯化氫以及二氯硅烷易溶于四氯化硅中，氫氣難溶于四氯化硅)，因此在回收氯化氫吸收塔3中，四氯化硅會(huì)吸收回收氯化氫中的氯化氫以及二氯硅烷得到氯化氫-氯硅烷溶液(包含氯化氫、四氯化硅以及二氯硅烷)以及氫氣，所產(chǎn)生的氫氣可以經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的氫氣出口輸出；所產(chǎn)生的氯化氫-氯硅烷溶液可以經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的氯化氫-氯硅烷出口輸出，經(jīng)加壓泵4的入口進(jìn)入加壓泵4中，加壓泵4對(duì)氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行加壓，使氯化氫-氯硅烷溶液的壓力符合下游工藝的操作壓力，進(jìn)而將氯化氫-氯硅烷溶液輸送至下游工藝中循環(huán)利用。例如，可以使用加壓泵4對(duì)氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行加壓，使氯化氫-氯硅烷溶液的壓力滿足冷氫化單元的操作壓力，然后將氯化氫-氯硅烷溶液輸送至冷氫化單元。

63.本發(fā)明中，可以根據(jù)氯化氫-氯硅烷溶液的壓力以及溫度對(duì)加壓泵4進(jìn)行選擇，在一些實(shí)施方式中，為了降低能耗、提高可靠性、簡(jiǎn)化操作步驟以及節(jié)約日常的維護(hù)成本，加壓泵4可以為屏蔽泵或磁力泵。

64.本發(fā)明的多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法，使用回收氯化氫吸收塔3對(duì)回收氯化氫進(jìn)行吸收處理得到氯化氫-氯硅烷溶液，然后使用加壓泵4對(duì)氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行加壓采出，液相加壓能耗低；同時(shí)回收氯化氫吸收塔3以及加壓泵4的可靠性以及穩(wěn)定性優(yōu)異，可以減少管道及其附件的投資，節(jié)約成本。值得一提的是，本發(fā)明使用四氯化硅作為吸收劑的回收氯化氫吸收塔3對(duì)回收氯化氫進(jìn)行吸收處理，能夠在不引入新的介質(zhì)的情況下，將回收氯化氫中的氫氣分離出，大幅度降低回收氯化氫中氫氣的含量，得到幾乎不包含氫氣的氯化氫-氯硅烷溶液，所得到的氯化氫-氯硅烷溶液更加符合下游工藝的要求，并且所得到的氫氣也可以輸送至下游工藝中，顯著的節(jié)約了生產(chǎn)成本。

65.本發(fā)明的多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多晶硅尾氣中各種物料的100％利用，減少物料損耗，提高經(jīng)濟(jì)效益。本發(fā)明的回收氯化氫吸收塔3輸出的氫氣的純度大于99.75％(mol)，并且回收氯化氫吸收塔3對(duì)氫氣的回收率為97％。

66.本發(fā)明中，可以根據(jù)下游工藝的要求對(duì)氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行分離，得到高純氯化氫。如圖4所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，本發(fā)明的回收系統(tǒng)還包括回收氯化氫解析塔11；

67.加壓泵4的出口與回收氯化氫解析塔11的氯化氫-氯硅烷入口連通。

68.具體地，本發(fā)明中，氯化氫-氯硅烷溶液經(jīng)加壓泵4出口輸出，經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯化氫-氯硅烷入口進(jìn)入回收氯化氫解析塔11中，在回收氯化氫解析塔11中，氯化氫-氯硅烷溶液會(huì)發(fā)生分離，得到高純氯化氫(不含有氫氣以及二氯硅烷)和氯硅烷，所得到的高純氯化氫可以經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯化氫出口輸出，所得到的氯硅烷溶液可以進(jìn)入精餾單元。由于氯硅烷溶液中不含有氯化氫，能夠減少對(duì)下游裝置的影響，減少裝置能耗以及物耗的損失。

69.本發(fā)明的回收氯化氫解析塔11輸出的氯化氫的純度大于98.8％(mol)，氯化氫的回收率為100％；對(duì)回收氯化氫解析塔11輸出的氯硅烷進(jìn)行痕量氯化氫檢測(cè)和痕量氫氣檢測(cè)，痕量氯化氫無(wú)檢出且痕量氫氣無(wú)檢出。

70.本發(fā)明中，可以通過(guò)加壓泵4調(diào)整氯化氫-氯硅烷溶液的壓力，進(jìn)而調(diào)整回收氯化氫解析塔11后得到的高純氯化氫的壓力，以使高純氯化氫的壓力更加符合下游工藝的要

求。

71.本發(fā)明中，可以根據(jù)回收氯化氫吸收塔3的塔頂壓力調(diào)節(jié)回收氯化氫吸收塔3塔頂?shù)牟荒龤錃饬髁?，保持回收系統(tǒng)的穩(wěn)定，還可以通回收氯化氫吸收塔3塔釜的液位調(diào)節(jié)氯化氫-氯硅烷溶液的流量，進(jìn)而保持回收系統(tǒng)的穩(wěn)定可以根據(jù)回收氯化氫解析塔11的塔頂壓力調(diào)節(jié)塔頂出口的高純氯化氫流量，保持氯化氫解析系統(tǒng)的穩(wěn)定。

72.如圖3-4所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，本發(fā)明的回收系統(tǒng)還包括第一換熱器5；

73.尾氣氯化氫解析塔2的回收氯化氫出口與第一換熱器5的熱介質(zhì)入口連通，回收氯化氫吸收塔3的氫氣出口與第一換熱器5的冷介質(zhì)入口連通；

74.第一換熱器5的熱介質(zhì)出口與回收氯化氫吸收塔3的回收氯化氫入口連通。

75.具體地，回收氯化氫經(jīng)尾氣氯化氫解析塔2的出口輸出，經(jīng)第一換熱器5的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第一換熱器5中，氫氣經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的氫氣出口輸出，經(jīng)第一換熱器5的冷介質(zhì)入口進(jìn)入第一換熱器中，氫氣和回收氯化氫在第一換熱器5中進(jìn)行熱量交換后，降溫后的回收氯化氫經(jīng)第一換熱器5的熱介質(zhì)出口輸出，經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的回收氯化氫入口進(jìn)入回收氯化氫吸收塔3中，而氫氣可以經(jīng)第一換熱器5的冷介質(zhì)出口輸出。

76.本發(fā)明中，將換熱器中溫度較高的物料稱為熱介質(zhì)，將溫度較低的物料稱為冷介質(zhì)。例如，氫氣和回收氯化氫兩種物料中，氫氣的溫度較低，所以氫氣為冷介質(zhì)，回收氯化氫的溫度較高，所以回收氯化氫為熱介質(zhì)。

77.本發(fā)明使回收氯化氫吸收塔3產(chǎn)生的氫氣與尾氣氯化氫解析塔2產(chǎn)生的回收氯化氫在第一換熱器5中換熱，利用氫氣的冷量對(duì)回收氯化氫進(jìn)行降溫，能夠在節(jié)約能耗的情況下，使回收氯化氫的溫度更加符合回收氯化氫吸收塔3的操作溫度，提高回收氯化氫吸收塔3的吸收效率。

78.進(jìn)一步地，如圖3所示，為了使回收氯化氫的溫度更加符合回收氯化氫吸收塔3的操作溫度，本發(fā)明的回收系統(tǒng)還可以包括：第二冷卻器8、第三冷卻器9以及第四冷卻器10；回收氯化氫經(jīng)尾氣氯化氫解析塔2的回收氯化氫出口輸出，經(jīng)第二冷卻器8的氣相入口進(jìn)入第二冷卻器8中，經(jīng)第二冷卻器8冷凝得到的液相經(jīng)第二冷卻器8的液相出口輸出回流至尾氣氯化氫解析塔2，冷卻后的氣相經(jīng)第二冷卻器8的氣相出口輸出；經(jīng)第三冷卻器9的氣相入口進(jìn)入第三冷卻器9中，經(jīng)第三冷卻器9冷凝得到的液相經(jīng)第三冷卻器9的液相出口輸出回流至尾氣氯化氫解析塔2，冷卻后的氣相經(jīng)第四冷卻器10的氣相入口進(jìn)入第四冷卻器10中，經(jīng)第四冷卻器10冷凝得到的液相經(jīng)第四冷卻器10的液相出口輸出回流至尾氣氯化氫解析塔2，冷卻后的氣相經(jīng)第四冷卻器10的氣相出口輸出，經(jīng)第一換熱器5的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第一換熱器5中，與氫氣進(jìn)行換熱。

79.在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，精餾單元的四氯化硅出口與回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口連通。

80.可以理解，常規(guī)的多晶硅工藝系統(tǒng)包括用于分離氯硅烷混合物的精餾單元，因此可以使精餾單元的四氯硅烷出口與回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口連通，利用精餾單元回收的四氯化硅作為回收氯化氫吸收塔3的吸收劑，可以實(shí)現(xiàn)物料的回收利用，提高經(jīng)濟(jì)效益。

81.如圖3-4所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)還包

括第二換熱器6；

82.加壓泵4的出口與第二換熱器6的冷介質(zhì)入口連通，四氯化硅經(jīng)第二換熱器6的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第二換熱器6；

83.第二換熱器6的熱介質(zhì)出口與回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口連通。

84.具體地，氯化氫-氯硅烷溶液經(jīng)加壓泵4的出口輸出，經(jīng)第二換熱器6的冷介質(zhì)出口進(jìn)入第二換熱器6中，四氯化硅經(jīng)第二換熱器6的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第二換熱器6中，在第二換熱器6中，氯化氫-氯硅烷溶液與四氯化硅進(jìn)行熱交換(利用氯化氫-氯硅烷溶液的冷量對(duì)四氯化硅進(jìn)行降溫，利用四氯化硅為氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行升溫)，升溫后的氯化氫-氯硅烷溶液可以經(jīng)第二換熱器6的冷介質(zhì)出口進(jìn)入下游工序中(例如，冷氫化單元或回收氯化氫解析塔11)，降溫后的四氯化硅可以經(jīng)第二換熱器6的熱介質(zhì)出口輸出，經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口進(jìn)入回收氯化氫吸收塔3中。

85.本發(fā)明通過(guò)利用氯化氫-氯硅烷溶液的冷量對(duì)四氯化硅進(jìn)行降溫，利用四氯化硅為氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行升溫，能夠在節(jié)約能耗的情況下，使四氯化硅的溫度更加符合回收氯化氫吸收塔3的操作溫度，提高回收氯化氫吸收塔3的效率，使氯化氫-氯硅烷溶液的溫度更加符合下游工藝的操作溫度，提高下游工藝的效率。

86.可以理解，若四氯化硅來(lái)源于精餾單元，可以使精餾單元的四氯化硅出口與第二換熱器6的熱介質(zhì)入口相互連通。

87.進(jìn)一步地，如圖3-4所示，為了使四氯化硅的溫度更加符合回收氯化氫吸收塔3的操作溫度，本發(fā)明的回收系統(tǒng)還可以包括第一冷卻器7；經(jīng)第二換熱器6冷卻后的四氯化硅可以經(jīng)第二換熱器6的熱介質(zhì)出口輸出，經(jīng)第一冷卻器7的冷卻料入口進(jìn)入第一冷卻器7中，經(jīng)第一冷卻器7冷卻后，經(jīng)第一冷卻器7的冷卻料出口輸出，經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口進(jìn)入回收氯化氫吸收塔3中。

88.如圖4所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)還包括第三換熱器12；

89.第三換熱器12的熱介質(zhì)入口與回收氯化氫解析塔11的氯硅烷出口連通，第三換熱器12的冷介質(zhì)入口與第二換熱器6的冷介質(zhì)出口連通；

90.第三換熱器12的冷介質(zhì)出口與回收氯化氫解析塔11的氯化氫-氯硅烷入口連通。

91.具體地，氯化氫-氯硅烷溶液經(jīng)第二換熱器6的冷介質(zhì)出口輸出，經(jīng)第三換熱器12的冷介質(zhì)入口進(jìn)入第三換熱器12中，氯硅烷(包括四氯化硅以及少量的二氯硅烷)經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯硅烷出口輸出，經(jīng)第三換熱器12的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第三換熱器12中，在第三換熱器12中，氯硅烷會(huì)與氯化氫-氯硅烷溶液發(fā)生熱交換(利用氯硅烷的熱量為氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行升溫)，升溫后的氯化氫-氯硅烷溶液可以經(jīng)第三換熱器12的冷介質(zhì)出口輸出，經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯化氫-氯硅烷入口進(jìn)入回收氯化氫解析塔11中。本發(fā)明通過(guò)利用回收氯化氫解析塔11產(chǎn)出的氯硅烷的熱量對(duì)氯化氫-氯硅烷溶液加熱，能夠在節(jié)約能耗的情況下，使氯化氫-氯硅烷溶液的溫度更加符合回收氯化氫解析塔11的操作溫度，提高回收氯化氫解析塔11的效率。

92.進(jìn)一步地，還包括對(duì)氯化氫進(jìn)行冷凝和換熱處理。氯化氫在冷凝和換熱處理中降溫冷凝，冷凝得到的液相主要為氯硅烷，冷凝得到的氯硅烷可以返回進(jìn)入回收氯化氫解析塔11，而未冷凝的氣相為純度很高的氯化氫，可以送至冷氫化單元參與冷氫化反應(yīng)，也可以

送至渣漿處理單元參與高沸裂解反應(yīng)或是送至三氯氫硅合成單元參與合成反應(yīng)。

93.如圖4所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)還包括第一冷凝器13、回流泵15、第二冷凝器16、第三冷凝器17以及回流罐18；其中，經(jīng)回收氯化氫解析塔11產(chǎn)生的氯化氫經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氣相出口輸出，經(jīng)第一冷凝器13的氣相入口進(jìn)入第一冷凝器13中，氯化氫氣體在第一冷凝器13中進(jìn)行部分冷凝，冷凝液相進(jìn)入回流罐18；未冷凝的氯化氫氣體經(jīng)第二冷凝器16的氣相入口進(jìn)入第二冷凝器16中，在第二冷凝器16中被冷凝為液相的氯化氫進(jìn)入回流罐18；未冷凝的氯化氫氣體可以經(jīng)第二冷凝器16的氣相出口輸出，經(jīng)第三冷凝器17的氣相入口進(jìn)入第三冷凝器17中，第三冷凝器17中被冷凝為液相的氯化氫進(jìn)入回流罐18，未冷凝的氯化氫氣體可以經(jīng)第三冷凝器17的氣相出口輸出至下游工藝單元，回流泵15可以將回流罐18中的液相氯化氫加壓送至回收氯化氫解析塔11的塔頂作為回流液。

94.在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)還包括第四換熱器14；

95.回收氯化氫解析塔11的氯化氫出口與第四換熱器14的熱介質(zhì)入口連通，在第四換熱器14中，一部分氯化氫氣體冷凝為液相，第四換熱器14的液相出口與回流罐18入口連通，第四換熱器14熱介質(zhì)氣相出口與第二冷凝器16的氣相入口連通；第四換熱器14冷介質(zhì)氣相入口與第三冷凝器17的氣相出口連通，第四換熱器14冷介質(zhì)氣相出口與下游工藝單元入口連通。

96.本發(fā)明可以利用回收氯化氫解析塔11塔頂采出的低溫高純氯化氫的冷量，有助于進(jìn)一步的節(jié)約能耗。

97.本發(fā)明中，可以對(duì)回收氯化氫吸收塔3及回收氯化氫解析塔11以及的工藝參數(shù)進(jìn)行進(jìn)一步地選擇，以期提高回收氯化氫吸收塔3及回收氯化氫解析塔11的安全性能和效率。

98.在本發(fā)明的一些實(shí)施方式中，回收氯化氫吸收塔3的吸收溫度為-30～-40℃，壓力大于或等于0.4mpag；

99.回收氯化氫解析塔11的塔釜溫度為98～140℃，壓力大于或等于0.7mpag；

100.回收氯化氫吸收塔3中，四氯化硅吸收液與回收氯化氫的質(zhì)量比為(15-30)：1時(shí)，回收氯化氫吸收塔3以及回收氯化氫解析塔11具有更為優(yōu)異的安全性能和工作效率。

101.本發(fā)明的第二方面提供一種上述多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法，使用上述的回收系統(tǒng)進(jìn)行。由于該回收方法使用上述的回收系統(tǒng)進(jìn)行，因此該回收方法具有安全性能優(yōu)異、能耗低以及物耗低的優(yōu)點(diǎn)，適用于廣泛推廣應(yīng)用。

102.以下，將結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的方案進(jìn)行進(jìn)一步地說(shuō)明。

103.實(shí)施例1

104.本實(shí)施例的多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)如圖4所示，包括：

105.回收氯化氫吸收塔3、加壓泵4(屏蔽泵)、第一換熱器5、第二換熱器6以及第一冷卻器7；

106.尾氣氯化氫解析塔2的回收氯化氫出口與第一換熱器5的熱介質(zhì)入口連通，回收氯化氫吸收塔3的氫氣出口與第一換熱器5的冷介質(zhì)入口連通；第一換熱器5的熱介質(zhì)出口與回收氯化氫吸收塔3的回收氯化氫入口連通；

107.回收氯化氫吸收塔3的回收氯化氫入口與第一換熱器5的熱介質(zhì)出口連通，加壓泵

4的入口與回收氯化氫吸收塔3的氯化氫-氯硅烷出口連通；

108.加壓泵4的出口與第二換熱器6的冷介質(zhì)入口連通，精餾單元的四氯化硅出口與第二換熱器6的熱介質(zhì)入口連通；

109.第一冷卻器7的熱介質(zhì)入口與第二換熱器6的熱介質(zhì)出口連通；

110.第一冷卻器7的熱介質(zhì)出口與回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口連通。

111.本實(shí)施例的多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法使用上述的回收系統(tǒng)進(jìn)行，包括：

112.回收氯化氫經(jīng)尾氣氯化氫解析塔2的回收氯化氫出口輸出，經(jīng)第一換熱器5的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第一換熱器5中，回收氯化氫吸收塔3產(chǎn)生的氫氣經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的氫氣出口輸出，經(jīng)第一換熱器5的冷介質(zhì)入口進(jìn)入第一換熱器5中，在第一換熱器5中，氫氣會(huì)對(duì)回收氯化氫進(jìn)行降溫；

113.經(jīng)降溫后的回收氯化氫經(jīng)第一換熱器5的熱介質(zhì)出口輸出，經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的回收氯化氫入口進(jìn)入回收氯化氫吸收塔3，回收氯化氫中的氯化氫會(huì)被回收氯化氫吸收塔3中的氯硅烷吸收，得到氯化氫-氯硅烷溶液，氯化氫-氯硅烷溶液經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的氯化氫-氯硅烷出口輸出，經(jīng)加壓泵4的入口進(jìn)入加壓泵；

114.氯化氫-氯硅烷溶液被加壓泵4加壓后，經(jīng)第二換熱器6的冷介質(zhì)入口進(jìn)入第二換熱器6中，精餾單元產(chǎn)出的四氯化硅經(jīng)第二換熱器6的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第二換熱器6中，在第二換熱器6中，氯化氫-氯硅烷溶液會(huì)對(duì)四氯化硅進(jìn)行降溫，并且氯化氫-氯硅烷溶液會(huì)被四氯化硅升溫，升溫后的氯化氫-氯硅烷溶液經(jīng)第二換熱器6的冷介質(zhì)出口輸出進(jìn)入下游工藝；

115.經(jīng)降溫后的四氯化硅經(jīng)第二換熱器6的熱介質(zhì)出口輸出，經(jīng)第一冷卻器7的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第一冷卻器7中，在第一冷卻器7中降溫后，經(jīng)第一冷卻器7的熱介質(zhì)出口輸出，經(jīng)回收氯化氫吸收塔3的四氯化硅入口進(jìn)入回收氯化氫吸收塔3中；

116.其中，回收氯化氫吸收塔3的吸收溫度為-35℃，壓力為0.48mpag；

117.回收氯化氫吸收塔3中，四氯化硅吸收液與回收氯化氫的質(zhì)量比為23.2：1。

118.本實(shí)施例中，回收氯化氫吸收塔3對(duì)氯化氫的回收率為100％；以回收氯化氫的量為1000nm3/h計(jì)算，并且考慮到吸收液四氯化硅的使用量，本實(shí)施例中加壓泵4的功率不高于5kw。而現(xiàn)有技術(shù)中，隔膜壓縮機(jī)的功率為58kw，因此，本實(shí)施例可以降低能耗。

119.并且與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)施例中的加壓泵4(屏蔽泵)具有優(yōu)異的可靠性和安全性，可以解決隔膜壓縮機(jī)檢修頻繁、維護(hù)要求高、本質(zhì)安全難以保證等弊端。

120.實(shí)施例2

121.本實(shí)施例的多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)與實(shí)施例1中的回收系統(tǒng)基本相同，不同之處在于，如圖4所示，還包括：回收氯化氫解析塔11、第三換熱器12、再沸器19、第一冷凝器13、第四換熱器14、第二冷凝器16、第三冷凝器17、回流罐18、回流泵15；

122.第三換熱器12的熱介質(zhì)入口與回收氯化氫解析塔11的氯硅烷出口連通，第三換熱器12的冷介質(zhì)入口與第二換熱器6的冷介質(zhì)出口連通；

123.第三換熱器12的冷介質(zhì)出口與回收氯化氫解析塔11的氯化氫-氯硅烷入口連通，第三換熱器12的熱介質(zhì)出口與下游工藝單元入口連通；

124.回收氯化氫解析塔11的氯硅烷出口與再沸器19的入口連通，再沸器19為回收氯化氫解析塔11提供熱量；

125.回收氯化氫解析塔11的氯化氫出口與第一冷凝器13的氣相入口連通，第一冷凝器13的氣相出口與第四換熱器14的熱介質(zhì)入口連通，第四換熱器14的熱介質(zhì)氣相出口與第二冷凝器16的氣相入口連通，第二冷凝器16的氣相出口與第三冷凝器17的氣相入口連通，第三冷凝器17的氣相出口與第四換熱器14的冷介質(zhì)入口連通，第四換熱器14的冷介質(zhì)出口與下游工藝單元入口連通；

126.第四換熱器14的熱介質(zhì)液相出口、第二冷凝器16的液相出口、第三冷凝器17的液相出口分別與回流罐18的入口連通；

127.回流罐18的出口與回流泵15的入口連通，回流泵15加壓液相氯化氫為回收氯化氫解析塔11提供塔頂回流液。

128.本實(shí)施例的多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法與實(shí)施例1中的回收方法基本相同，不同之處在于，使用實(shí)施例2中的回收系統(tǒng)進(jìn)行：

129.升溫后的氯化氫-氯硅烷溶液經(jīng)第二換熱器6的冷介質(zhì)出口輸出，經(jīng)第三換熱器12的冷介質(zhì)入口進(jìn)入第三換熱器12中，回收氯化氫解析塔11產(chǎn)生的氯硅烷溶液一部分經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯硅烷出口輸出，經(jīng)第三換熱器12的熱介質(zhì)入口進(jìn)入第三換熱器12中，在第三換熱器12中，氯硅烷與氯化氫-氯硅烷溶液進(jìn)行冷熱交換，使氯化氫-氯硅烷溶液的溫度進(jìn)一步升高；

130.進(jìn)一步升溫后的氯化氫-氯硅烷溶液經(jīng)第三換熱器12的冷介質(zhì)出口輸出，經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯化氫-氯硅烷入口進(jìn)入回收氯化氫解析塔11，氯化氫-氯硅烷溶液在回收氯化氫解析塔11中被解析，得到氯硅烷溶液以及氯化氫氣體；

131.回收氯化氫解析塔11產(chǎn)生的氯硅烷溶液另一部分經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯硅烷出口輸出，經(jīng)再沸器19的入口進(jìn)入再沸器19，通過(guò)再沸器19為回收氯化氫解析塔11提供熱量；

132.回收氯化氫解析塔11產(chǎn)生的氯化氫經(jīng)回收氯化氫解析塔11的氯化氫出口輸出，經(jīng)第一冷凝器13的氣相入口進(jìn)入第一冷凝器13中進(jìn)行冷凝，然后經(jīng)第一冷凝器13的氣相出口輸出，經(jīng)第四換熱器14的熱介質(zhì)氣相入口進(jìn)入第四換熱器14中，在第四換熱器14中，氯化氫與高純氯化氫進(jìn)行換熱，經(jīng)第四換熱器14冷介質(zhì)出口產(chǎn)出的高純氯化氫進(jìn)入高沸裂解等需要高純氯化氫的下游工序中，經(jīng)第四換熱器14換熱后產(chǎn)生的液相氯化氫經(jīng)第四換熱器14的液相出口輸出，進(jìn)入回流罐18；

133.經(jīng)第四換熱器14熱介質(zhì)氣相出口輸出的氯化氫經(jīng)第二冷凝器16的氣相入口進(jìn)入第二冷凝器16中，經(jīng)第二冷凝器16冷凝后，產(chǎn)生的液相氯化氫經(jīng)第二冷凝器16的液相出口輸出，進(jìn)入回流罐18；

134.第二冷凝器16產(chǎn)生的氣相氯化氫經(jīng)第二冷凝器16的氣相出口輸出，經(jīng)第三冷凝器17的氣相入口進(jìn)入第三冷凝器17中，經(jīng)第三冷凝器17冷凝后，產(chǎn)生的液相氯化氫經(jīng)第三冷凝器17的液相出口輸出，進(jìn)入回流罐18，氣相氯化氫經(jīng)第三冷凝器17的氣相出口輸出，經(jīng)第四換熱器14的冷介質(zhì)入口進(jìn)入第四換熱器14；

135.回流罐18中的液相氯化氫經(jīng)回流罐18的出口輸出，經(jīng)回流泵15的入口進(jìn)入回流泵15中，再經(jīng)回流泵15加壓返回至回收氯化氫解析塔11作為塔頂回流液；

136.其中，回收氯化氫解析塔11的塔釜溫度為139.3℃，壓力為0.7mpag。

137.本實(shí)施例中的回收氯化氫解析塔11產(chǎn)生的氯化氫純度大于98.8％(mol)，氯化氫

的回收率為100％；對(duì)回收氯化氫解析塔11輸出的氯硅烷進(jìn)行痕量氯化氫檢測(cè)和痕量氫氣檢測(cè)，痕量氯化氫無(wú)檢出且痕量氫氣無(wú)檢出。

138.最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。技術(shù)特征：

1.一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)，其特征在于，包括回收氯化氫吸收塔以及加壓泵；所述回收氯化氫吸收塔的回收氯化氫入口與尾氣氯化氫解析塔的回收氯化氫出口連通，所述加壓泵的入口與所述回收氯化氫吸收塔的氯化氫-氯硅烷出口連通；所述回收氯化氫吸收塔具有四氯化硅入口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括回收氯化氫解析塔；所述加壓泵的出口與所述回收氯化氫解析塔的氯化氫-氯硅烷入口連通。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括第一換熱器；所述尾氣氯化氫解析塔的回收氯化氫出口與所述第一換熱器的熱介質(zhì)入口連通，所述回收氯化氫吸收塔的氫氣出口與所述第一換熱器的冷介質(zhì)入口連通；所述第一換熱器的熱介質(zhì)出口與所述回收氯化氫吸收塔的回收氯化氫入口連通。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，精餾單元的四氯化硅出口與所述回收氯化氫吸收塔的四氯化硅入口連通。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括第二換熱器；所述加壓泵的出口與所述第二換熱器的冷介質(zhì)入口連通，四氯化硅經(jīng)所述第二換熱器的熱介質(zhì)入口進(jìn)入所述第二換熱器；所述第二換熱器的熱介質(zhì)出口與所述回收氯化氫吸收塔的四氯化硅入口連通。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括第一冷卻器；所述第一冷卻器的熱介質(zhì)入口與所述第二換熱器的熱介質(zhì)出口連通；所述第一冷卻器的熱介質(zhì)出口與所述回收氯化氫吸收塔的四氯化硅入口連通。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，還包括第三換熱器；所述第三換熱器的熱介質(zhì)入口與所述回收氯化氫解析塔的氯硅烷出口連通，所述第三換熱器的冷介質(zhì)入口與所述第二換熱器的冷介質(zhì)出口連通；所述第三換熱器的冷介質(zhì)出口與所述回收氯化氫解析塔的氯化氫-氯硅烷入口連通。8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，所述回收氯化氫吸收塔的吸收溫度為-30～-40℃，壓力大于或等于0.4mpag；所述回收氯化氫吸收塔中，四氯化硅吸收液與所述回收氯化氫的質(zhì)量比為(15-30)：1。9.根據(jù)權(quán)利要求2-7任一項(xiàng)所述的回收系統(tǒng)，其特征在于，所述回收氯化氫解析塔的塔釜溫度為98～140℃，壓力大于或等于0.7mpag。10.一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的回收系統(tǒng)進(jìn)行。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明提供一種多晶硅尾氣中氯化氫的回收系統(tǒng)及回收方法，包括回收氯化氫吸收塔以及加壓泵；所述回收氯化氫吸收塔的回收氯化氫入口與尾氣氯化氫解析塔的回收氯化氫出口連通，所述加壓泵的入口與所述回收氯化氫吸收塔的氯化氫-氯硅烷出口連通；所述回收氯化氫吸收塔具有四氯化硅入口。該回收系統(tǒng)不僅安全性能優(yōu)異，而且能夠有效節(jié)約多晶硅尾氣回收過(guò)程中的能耗以及物耗，降低尾氣回收的生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

技術(shù)研發(fā)人員：沈琛 李超 劉繼三 柯曾鵬 姚又省 董文勝 陳維平

受保護(hù)的技術(shù)使用者：華陸工程科技有限責(zé)任公司

技術(shù)研發(fā)日：2023.02.21

技術(shù)公布日：2023/5/23