本實(shí)用新型提供了一種用于可揮發(fā)有機(jī)污染物探測(cè)的聲表面波傳感器,所述的聲表面波傳感器的中心工作頻率為200MHz,采用鈮酸鋰材料作為基底、金做為插指換能器材料,溶膠凝膠氧化硅作為敏感膜材料;敏感膜的有效面積大于6mm2,敏感膜對(duì)常見的可揮發(fā)有機(jī)污染物有很好的吸附作用,敏感膜飽和后,可采用酒精沖洗解除表面吸附,敏感膜能夠重復(fù)使用。本實(shí)用新型的用于可揮發(fā)有機(jī)污染物探測(cè)的聲表面波傳感器的測(cè)量精度高,使用方便。
聲明:
“用于可揮發(fā)有機(jī)污染物探測(cè)的聲表面波傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)