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半導(dǎo)體設(shè)備的鋁制加熱器蓋板的陶瓷提升銷

1110   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:52:32
本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備的鋁制加熱器蓋板的陶瓷提升銷,包括:蓋板本體,所述蓋板本體的內(nèi)部設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)的銷孔且蓋板本體的下部設(shè)有加熱器,所述銷孔延伸至加熱器內(nèi)部且銷孔內(nèi)部設(shè)有限位擋圈,所述銷孔內(nèi)安裝有提升銷本體且提升銷本體由銷帽和銷桿組成,所述銷帽呈圓錐形結(jié)構(gòu)設(shè)置且銷桿呈圓柱形結(jié)構(gòu)設(shè)置。本實(shí)用新型中的提升銷本體采用陶瓷材料制成,且由銷桿和銷帽組成,銷帽呈錐形結(jié)構(gòu)設(shè)置并與銷桿之間一體成型,錐形結(jié)構(gòu)的銷帽能夠與銷孔之間貼合,從而減小了間隙,防止制造過(guò)程中有大量氣體從銷帽跟加熱器蓋板間隙流入帶走一些熱量,預(yù)防銷帽處溫度較低,鉭酸鋰晶圓提升銷點(diǎn)位置厚度低的問(wèn)題。
聲明:
“半導(dǎo)體設(shè)備的鋁制加熱器蓋板的陶瓷提升銷” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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