本發(fā)明公開(kāi)了一種飛秒激光刻蝕波導(dǎo)光柵的制備裝置及方法,該裝置由飛秒激光器、光偏振器、分光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、顯微物鏡、鈮酸鋰晶體、精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、三維電動(dòng)平移臺(tái)、光功率計(jì)和計(jì)算機(jī)依次連接而成。本發(fā)明解決如何控制激光條件,并能達(dá)到使用一個(gè)飛秒激光光源、僅一套加工設(shè)備來(lái)同時(shí)實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)以及光柵的制備。
聲明:
“飛秒激光刻蝕波導(dǎo)光柵的制備裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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