本發(fā)明提供一種固態(tài)反射型體聲波諧振器的制備方法,包括如下步驟:取經(jīng)過離子注入的壓電材料,并在所述壓電材料的注入面下方和/或所述襯底上方生長反射層,然后取襯底,將所述襯底與所述壓電材料鍵合;將得到的鍵合后的中間產(chǎn)物進行熱處理,使所述壓電材料的薄膜剝離,再在所述壓電材料的剝離后的一側(cè)生長上電極,即得。本發(fā)明所述的固態(tài)反射型體聲波諧振器的制備方法,使用晶圓鍵合轉(zhuǎn)移技術(shù)制備高質(zhì)量單晶鈮酸鋰薄膜,結(jié)合反射層結(jié)構(gòu)能夠制備結(jié)構(gòu)強度高且性能優(yōu)異的諧振器。
聲明:
“固態(tài)反射型體聲波諧振器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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