本發(fā)明揭示了一種制備超高純度金屬脒基化合物的方法,該方法包括使用微通道裝置進(jìn)行合成,使得金屬鹵化物溶液與脒基鋰溶液反應(yīng),制得超高純度的烷基金屬化合物,用于化學(xué)氣相沉積之類的方法。
聲明:
“制備有機(jī)金屬化合物的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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