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臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）

250

規(guī)格/型號：HCVD-060609-SIC

品牌：頂立科技

應用領域：材料制備

產(chǎn)地：湖南 - 長沙

廠家/供應商：湖南頂立科技股份有限公司

咨詢電話:：4006770098（請說明信息源自“中冶有色技術網(wǎng)”）

更新時間：2025-02-20

級別：待認證

臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）說明介紹

臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）

湖南頂立科技的臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）是專為冶金及新材料領域設計的高性能熱工裝備，廣泛應用于碳化硅（SiC）和氮化硼（BN）材料的表面涂層、基體改性及復合材料制備等工藝。該設備采用先進的控制技術，能夠精密控制MTS等工藝氣體的流量和壓力，確保爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動小。其全密閉沉積室設計密封效果好，抗污染能力強，同時多通道工藝氣路可實現(xiàn)流場均勻分布，避免沉積死角，顯著提升沉積效果。此外，設備配備多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能夠有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好。

品牌：頂立科技

產(chǎn)地：湖南

型號：臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）

核心參數(shù)

非金屬電熱元件：其他

金屬電熱元件：其他

燒結氣氛：其他

產(chǎn)品介紹

臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）技術特征

采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍?。?

全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；