本發(fā)明公開了一種能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高溫度穩(wěn)定性和高頻的聲表面波濾波器,結(jié)構(gòu)包括壓電基片、制作在壓電基片表面的輸入叉指換能器和輸出叉指換能器,以及覆蓋在壓電基片、輸入叉指換能器和輸出叉指換能器上的波導(dǎo)層,壓電基片為適合高頻、正溫度穩(wěn)定性的晶體材料四硼酸鋰(切向?yàn)?0、47.3、90)),波導(dǎo)層為既有高壓電耦合系數(shù)又具有負(fù)溫度系數(shù)的ZnO。輸入叉指換能器利用壓電效應(yīng),在壓電基片中激發(fā)聲波完成電聲轉(zhuǎn)換。輸出叉指換能器利用逆壓電效應(yīng),接收聲波,完成聲電轉(zhuǎn)換。通過本發(fā)明從濾波器結(jié)構(gòu)方面的改進(jìn),通過控制ZnO的厚度改善樂甫波濾波器的溫度穩(wěn)定性,結(jié)合LBO的傳播速度高的特點(diǎn),實(shí)現(xiàn)高頻濾波器。
聲明:
“適合高頻的高溫度穩(wěn)定性聲表面波濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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