本發(fā)明提供一種沉積量測(cè)定裝置、沉積量測(cè)定方法及
電化學(xué)元件用電極的制造方法。本發(fā)明的制造方法包括向附加了與鋰形成化合物的層的基板沉積鋰的工序。在沉積工序之前,對(duì)基板照射第一β射線及第二β射線,測(cè)定第一β射線及第二β射線的來自基板的背向散射。在沉積工序之后,向基板照射第一β射線及第二β射線,測(cè)定第一β射線及第二β射線的來自基板的背向散射。計(jì)算沉積工序前后的第一β射線的背向散射的減少量及第二β射線的背向散射的減少量。根據(jù)第一β射線的背向散射的減少量及第二β射線的背向散射的減少量,進(jìn)行沉積工序的控制。
聲明:
“沉積量測(cè)定裝置、沉積量測(cè)定方法及電化學(xué)元件用電極的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)