本發(fā)明提供一種高效散熱結(jié)構(gòu)的集成電光波導(dǎo)調(diào)制器及其制備方法,該發(fā)明采用了一種高效散熱結(jié)構(gòu),利用金剛石作為鈮酸鋰襯底的散熱材料,并采用液體毛細(xì)鍵合工藝實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰襯底與金剛石薄片之間的良好接觸,不會引入熱阻和光學(xué)損耗,利用金剛石的高熱導(dǎo)率特性實(shí)現(xiàn)對電光波導(dǎo)調(diào)制器內(nèi)部熱量的疏散,實(shí)現(xiàn)調(diào)制器內(nèi)部熱場的均勻分布,本發(fā)明的調(diào)制器具有結(jié)構(gòu)簡單、工藝容易實(shí)現(xiàn)、成本低等優(yōu)點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于激光通信、光纖傳感和光信號處理等領(lǐng)域。
聲明:
“高效散熱結(jié)構(gòu)的集成光電波導(dǎo)調(diào)制器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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