基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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硅片清洗劑及其使用方法

981 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 23:26:56

本發(fā)明公開了一種硅片清洗劑及其使用方法,包括氧化劑、有機堿、滲透劑和水,各組分的體積比是氧化劑∶有機堿∶滲透劑∶水=0.02～0.1∶1～4∶0.5～1∶30～50;所述的氧化劑的標準電極電位不小于1.7V,是臭氧或雙氧水;所述的有機堿選自以下組分中的一種或多種:三乙醇胺、醇鈉、烴基鈉、烴基鋰、氨基鋰及季銨堿;所述的滲透劑是脂肪醇聚氧乙烯醚或順丁烯二酸二仲辛酯磺酸鈉。本發(fā)明使用的清洗劑操作簡單,沒有給硅片清洗增加繁瑣步驟,成本低,無污染,不會帶入污染硅片的雜質,對環(huán)境無害。

聲明：

“硅片清洗劑及其使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)