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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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d15模式鐵電單晶薄膜壓電振動傳感器及其制備方法

1111 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 23:15:11

本申請?zhí)峁┝艘环Nd15模式鐵電單晶薄膜壓電振動傳感器及其制備方法，通過將底電極/二氧化硅層/硅基底與鈮酸鋰晶片進行鍵合，再依次進行減薄、化學機械拋光和清洗，得到鈮酸鋰單晶薄膜；在晶圓表面采用磁控濺射、離子束刻蝕剝離工藝制備對準標記及表面電極，接著采用離子束刻蝕法刻蝕鈮酸鋰單晶薄膜使其圖形化，采用反應離子刻蝕法刻蝕二氧化硅層使其圖形化，隨后采用離子束刻蝕法刻蝕底電極使其圖形化，最后采用深硅刻蝕工藝從硅基底正面制備懸臂梁與質量塊并從其背部完成器件的釋放。本申請能夠將鐵電單晶鈮酸鋰薄膜與硅片很好鍵合，并在此基礎上采用標準的MEMS工藝制備傳感器件，工藝可行性和重復率高，制得的器件具有寬頻帶及很高的輸出電壓。

聲明：

“d15模式鐵電單晶薄膜壓電振動傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)