一種生產(chǎn)率優(yōu)越、且可防止對有機層損壞、形成上部電極而長期可靠性優(yōu)越的顯示裝置的制造方法。該方法是在基板2上把下部電極4、含發(fā)光層有機層5以及上部電極6依次層疊,從上部電極側(cè)6提取發(fā)射光的上面發(fā)光型的顯示裝置1的制造方法,在基板2上形成下部電極4,在下部電極4上形成含發(fā)光層的有機層5后,通過濺射法以7nm~21nm的膜厚在有機層5上形成含有鋰的上部電極6作為陰極。上部電極6的鋰重量組成比是0.1%~1.9%。通過濺射法形成上部電極6是以50nm/min以下的成膜速度進行。
聲明:
“顯示裝置的制造方法和顯示裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)