2FexSiO4正極薄膜的制備方法及應(yīng)用,加工技術(shù)"> 2FexSiO4正極薄膜的制備方法及應(yīng)用,本發(fā)明提供了一種Li2FexSiO4正極薄膜的制備方法及應(yīng)用。其是以Fe補(bǔ)償?shù)腖i2FeSiO4材料作為靶材,采用射頻磁控濺射的方法沉積制備Li2FexSiO4薄膜,其中0.5≤x≤1.1;然后以Li2FexSiO4薄膜為正極依次制備固態(tài)電解質(zhì)薄膜、負(fù)極薄膜、負(fù)極集流體薄膜,封裝后得到多層結(jié)構(gòu)的全固態(tài)薄膜鋰離子電池。該多層膜結(jié)構(gòu)的全固態(tài)鋰離子具有高結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和界面特性、較高的放電比容量和循環(huán)特性。">
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