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壓電性材料基板與支撐基板的接合體及其制造方法

1082   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:02:47
在將由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰和鈮酸鋰?鉭酸鋰組成的組中的材質(zhì)形成的壓電性材料基板與設(shè)置有氧化硅層的支撐基板接合時(shí),抑制接合體的特性劣化。接合體(7、7A)具備:支撐基板(4);氧化硅層(5),其設(shè)置于支撐基板(4)上;以及壓電性材料基板(1、1A),其設(shè)置于氧化硅層(5)上、并由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰和鈮酸鋰?鉭酸鋰組成的組中的材質(zhì)形成。壓電性材料基板(1、1A)與氧化硅層(5)的界面(A)處的氮濃度高于氧化硅層(5)與所述支撐基板(1)的界面處的氮濃度。
聲明:
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