本發(fā)明涉及電子特氣制造技術(shù)領(lǐng)域,公開的一種制備烷基
硅烷及三氯化硼回收溶劑聯(lián)產(chǎn)氯化鋰方法,采用的制備系統(tǒng),包括:烷基硅烷合成系統(tǒng)、溶劑回收及氯化鋰制備系統(tǒng)、三甲基硅烷和氯化硼制備系統(tǒng)、二甲基硅烷制備系統(tǒng)、甲基硅烷制備系統(tǒng),烷基硅烷合成系統(tǒng)第一出口端通過管道與溶劑回收及氯化鋰制備系統(tǒng)聯(lián)通,烷基硅烷合成系統(tǒng)第二出口端通過管道與三甲基硅烷及氯化硼制備系統(tǒng)聯(lián)通,三甲基硅烷及氯化硼制備系統(tǒng)冷凝出口端通過管道與二甲基硅烷制備系統(tǒng)聯(lián)通,二甲基硅烷制備系統(tǒng)冷凝出口端通過管道與甲基硅烷制備系統(tǒng)聯(lián)通。本發(fā)明能夠使各種物料都得到充分利用,無易燃易爆易腐蝕副產(chǎn)物產(chǎn)生,無廢棄物排放,具有環(huán)境友好的優(yōu)點。
聲明:
“制備烷基硅烷及三氯化硼回收溶劑聯(lián)產(chǎn)氯化鋰的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)