薄膜材料連續(xù)生長專用設(shè)備說明介紹

◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退料、氣體流量等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制  

◆關(guān)鍵部件均采用優(yōu)質(zhì)配件，確保設(shè)備的高可靠性 
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級(jí)電拋光管），流量控制采用優(yōu)質(zhì)流量計(jì)（MFC）控制 
◆工作壓力閉環(huán)自動(dòng)控制，提高工藝穩(wěn)定性和可靠性 
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好 
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能 
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命

一、溫度控制系統(tǒng)  

最高溫度：1200℃

使用溫度：≤1100℃

爐膛有效尺寸：Φ100mm

爐膛材料： 氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型： K型熱熱偶（五個(gè)點(diǎn)) 。

控溫精度：±1℃， 30段可編程控溫，PID溫度控制程序，五段控溫（300+300+300+300+300mm），五段溫度可設(shè)置相同，獲得超長加熱溫區(qū)，也可以根據(jù)需要設(shè)定不同溫度段，以滿足不同的工藝要求。

加熱元件：優(yōu)質(zhì)電阻絲

供電電源： 單相，220V，50HZ

二、氣路控制系統(tǒng)

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

氣體種類:1路.

標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)： N2: 200、（具體量程需最終確認(rèn)）

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

最大壓力：3MPa

接口：Φ6,

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥：Φ6

三、真空系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)：

空氣相對(duì)濕度≤85%，

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ

功率：1千瓦

抽氣速率：10m3 /h

極限真空：4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進(jìn)氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB