本發(fā)明公開了基于鈮酸鋰薄膜的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法,通過對電極形狀、電極尺寸、壓電材料取材、厚度等方面的優(yōu)化設(shè)計(jì),減小了橫波寄生模式的影響,使得諧振器僅工作在剪切波模式下,提高了諧振器的品質(zhì)因數(shù);在雙拋高阻硅片的一個(gè)表面先后沉積保護(hù)層、犧牲層材料,再將襯底化學(xué)機(jī)械拋光;通過離子注入與晶圓鍵合的方法,將鈮酸鋰薄膜轉(zhuǎn)移到該拋光的襯底上面,然后利用剝離工藝在鈮酸鋰薄膜表面濺射金屬叉指電極;最后利用干法刻蝕或者濕法腐蝕的辦法去掉犧牲層;隨后將這一面保護(hù)起來,在另一面重復(fù)之前的生長,除去保護(hù)層后獲得成品器件;進(jìn)而提高了諧振器的機(jī)械強(qiáng)度與可靠性,可適用于諧振器的大規(guī)模制造。
聲明:
“基于鈮酸鋰薄膜的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)