本發(fā)明涉及電池領(lǐng)域,且公開了一種機器人
鋰電池生產(chǎn)用全固態(tài)薄膜的制備方法,該制備方法適用于制備機器人鋰電池生產(chǎn)用全固態(tài)薄膜,其特征在于,包括以下步驟:選取基底層,用500目?3000目的砂紙對基片表面進行機械拋光,直至表面能發(fā)生鏡面反射;采用磁控濺射技術(shù)在基底表面沉積一層金屬流體層;采用負(fù)極活性物質(zhì)材料作為靶材,安裝好靶材和基片以后關(guān)閉送樣室和外延室,利用機械泵,分子泵,離子泵將外延室真空抽至1×10?7Pa以下,調(diào)整靶材與基片間的距離為60mm,自轉(zhuǎn)速率為10?15轉(zhuǎn)/min,預(yù)濺射2?4h以上,采用對耙交替沉積的方法,每一塊靶材轟擊10?15下,本發(fā)明一種機器人鋰電池生產(chǎn)用全固態(tài)薄膜的制備方法,可以提高固態(tài)膜的密度,穩(wěn)定性好。
聲明:
“機器人鋰電池生產(chǎn)用全固態(tài)薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)