一種基于鈮酸鋰?硅晶圓的單片集成光模數(shù)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)及制備方法,利用一種新型晶圓(鈮酸鋰?硅晶圓),實(shí)現(xiàn)了包括電光調(diào)制器陣列、可調(diào)延時(shí)線陣列、電子電路等在內(nèi)的電光多器件單片集成光模數(shù)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)。使得多種器件在同一個(gè)
芯片上制作出來(lái),保證了系統(tǒng)的性能優(yōu)勢(shì)及其穩(wěn)定性。此外,本發(fā)明提出了一種CMOS兼容的系統(tǒng)制備方式,使得基于鈮酸鋰?硅晶圓的單片集成光模數(shù)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)可以在多數(shù)芯片制造廠商的平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)。
聲明:
“基于鈮酸鋰-硅晶圓的單片集成光模數(shù)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)