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鉭酸鋰敏感元及應用其的紅外熱釋電傳感器

808 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 21:14:08

本實用新型公開了一種鉭酸鋰敏感元及應用其的紅外熱釋電傳感器，包括鉭酸鋰晶圓、底部電極、硅襯底、頂部電極和吸收層。本實用新型對鉭酸鋰晶圓頂部金屬電極進行圖案化處理，對于單個芯片而言，頂部電極通過硬掩膜設計一分為二，和底部金屬電極共同構成了兩個熱釋電探測器敏感元，蒸鍍有底部電極的鉭酸鋰晶圓和硅襯底鍵合后再減薄，可根據(jù)實際應用需求減薄到合適的厚度，性能更優(yōu)，可根據(jù)實際需求采用包括表面貼裝器件貼片封裝等在內的多種封裝形式，封裝形式多樣，頂部電極通過圖案化處理，預留引線鍵合區(qū)域，同時設計有對引線鍵合區(qū)域的支撐結構，降低工藝制程風險。

聲明：

“鉭酸鋰敏感元及應用其的紅外熱釋電傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)