本發(fā)明公開了一種鋅-鋰合金材料及其制備方法,其中Li的含量為0.5-4.0%(質(zhì)量)、Zn為余量,以及應(yīng)用該合金生產(chǎn)用于集成電路硅片等離子濺射靶材的技術(shù)。該鋅-鋰合金的制備方法如下:按鋰含量高于所需要的配比10-20%稱重高純鋰、高純鋅;將鋅放入高純
石墨坩堝,并將坩堝放入真空爐內(nèi),鋰用高純鋅箔包裹放入真空爐的加料斗內(nèi);抽真空;升溫至450~500℃使鋅熔化;充氬氣;加入高純鋰,在600~650℃精煉10~15分鐘;澆鑄,得到鋅-鋰合金材料。
聲明:
“鋅-鋰合金材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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