提供了一種生長(zhǎng)鋁酸鋰(γ-LiAlO2)單晶及摻雜鋁酸鋰晶體的多坩堝熔體生長(zhǎng)技術(shù),包括:(1)鋁酸鋰原料的合成;(2)將合成的鋁酸鋰原料及經(jīng)過定向的籽晶裝入坩堝,移至高溫下降爐內(nèi),整個(gè)系統(tǒng)密封后通電升溫,先后啟動(dòng)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵,抽真空至10-3-10-4Pa,當(dāng)爐溫達(dá)800-1200℃充入惰性保護(hù)氣體,繼續(xù)升溫至設(shè)定溫度1600-1900℃;(3)爐溫達(dá)設(shè)定溫度后,保溫1-4小時(shí),調(diào)節(jié)爐膛溫度和坩堝位置使原料及籽晶頂部熔化,實(shí)現(xiàn)接種生長(zhǎng),將固液界面溫度梯度設(shè)定在10-50℃/cm,坩堝下降速率控制在0.1-3.0mm/h;(4)待晶體生長(zhǎng)結(jié)束后,進(jìn)行原位退火處理。本發(fā)明的工藝特點(diǎn)在于特殊溫場(chǎng)設(shè)計(jì)、多坩堝技術(shù)、原位退火處理等,優(yōu)點(diǎn)在于溫場(chǎng)穩(wěn)定,溫度梯度可調(diào),操作方便,平均能耗低,一爐多產(chǎn),有利于產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“鋁酸鋰和摻雜鋁酸鋰晶體多坩堝熔體生長(zhǎng)技術(shù)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)